微振動領域

高科技廠房之半導體、光電或薄膜等設備製程，因為建築物本身、人員走動及內部機械與週遭環境之撓動而產生共振， 進而導致產品不良率的增加；為有效降低微振動對產品不良率之影響，應使機械設備於符合微振動標準之環境下運作。

本司從結構的觀點切入微振動領域，探討精密設備所在平台或是結構面之振動行為。一個物體的微振動包涵自體振動、 表面波傳遞、內部應力波傳遞。網羅了土木結構、結構物理檢測、機械振動等專長，建構一個微振動量測、分析、 模擬與問題解決之團隊。服務項目包括：

• 振動診斷、分析、尋找與追蹤
  依據業主或廠方對於微振動或產品良率等疑慮，先行觀察廠內所在環境與干擾源，並依據廠房結構特性給予業主初步判斷或建議。 建議是否進行微振動量測、非破壞性檢測或是結構有限元素模擬。
• 結構物自然頻率振動量測與分析探討
  透過結構動態剛度測試或同步微振動量測，分析出結構固有振動頻率或週期，再依據有限元素模擬比較其模態與頻率。 透過以上結論探討結構物可能發生之振動頻率與影響性。例如樓板動態剛度測試預測未來可能影響產能之振動頻率。
• 振動頻譜分析與分析探討
  將探頭（如加速度規、速度計、位移計等）電壓訊號即時傳輸到頻譜儀或是記錄器，透過FFT快速傅立葉轉換成頻率域的資料。 依據頻率域資料預測、探討結構物振動特性或各頻率之位移、速度、加速度。例如依據頻率域波峰資料判斷可能之振動源或是結構物識別。
• 土木結構振動量測與分析探討
  透過量測土木結構物之振動值，探討結構物梁、柱、板所被引發之振動頻率週期與大小，並界定出對於人之環境舒適性。 並依據長期振動量測，判斷結構物是否有結構性損壞或是強度降低等情形。針對結構物進行環境背景值量測給予設備商或 是業主有關設備配置或是安排之建議。
• 高科技廠房微振動量測與分析探討
  針對有微振動需求之高科技廠房，進行其結構樓板、梁、高架地板、地表、周遭環境、設備基座…等，進行其三方向之微振動量測， 歸納出其振動等級，並依據振動頻譜圖配合結構有限元素模擬，給予業主全套之振動控制規劃或是振動問題解決。
• 機械振動量測與分析探討
  針對會產生振動或是自發性振動的機械，進行振動量測，並探討振動是否會影響其他設備或是樓板振動，並針對有影響性之機械給予振動隔離或降低之建議方案。 例如:搖篩機、空氣加壓機、冰水主機以及其附屬配件或配管給予振動控制與隔離。
• 精密設備微振量測與分析探討
  對於有極度微振動需求之精密設備，量測其設備構件處或是支承處之微振動，標記出其振動等級或是大小，再由時間域或是頻率域訊號，判斷振動值是否會影響其製程。 若有影響則協同設備設計商或是製造商，討論其解決方案與改善工程，以求最終產能與良率之提高。例如:薄膜貼合機、藥液浸泡機。
• 設備基座平台微振量測分析探討與模擬
  對於有微振動需求之設備，業界目前最常見採用獨立設備基座，主要分為: 1. 斷開式補強高架地板 2. 鋼結構式獨立基座平台 3. 高剛性混凝土式獨立基座平台。 主要原理為:1. 隔離高架地板因為人員走動、全自動自走機、半自動自走機或是其他機械與管線之振動影響。 2.透過基座之高剛性避免設備與振源產生共振， 即所謂被動式隔振基座。本司能依據樓板背景值量測、樓板動態剛度測試、樓板結構有線元素模擬、設備基座有限元素模擬等步驟預測設備基座施工完成後之振動 等級與可能存在之問題點。待設備基座完工後，在進行平台表面微振動驗收量測與設備加載後之微振動驗收量測。最後將量測結果以三軸向頻譜圖或是三分之一倍 頻頻譜圖呈現，並在頻譜圖上給予振動等級之劃分界定，以供設備商或是使用者製程上品質及良率之參考依據。
• 施工振動量測與分析探討
  透過施工中之環境微振動量測，提早預測未來廠方臨時性施工是否會影響製成，若會影響製成則提出改善建議或施工時段避開。另外針對傳統土木公共工程 之大型機具振動與擾動，進行振動環境影響評估與長期監測。
• 機械及其他剛度量測分析探討
  使用中小型衝擊槌與加速度規，量測分析機械構件之動態剛度與靜態剛度。將量測之剛度繪制成動態頻譜圖，判斷機械構件其振動頻率與可能影響製程之原因。
• 樓板勁度量測與模擬分析探討
  使用大型衝擊槌與加速度規，量測分析樓板之動態剛度與靜態剛度，可預測樓板未來可能引發之振動頻率與振動源。並可判斷後續設備與設備基座是否易與 樓板產生共振行為而影響製成良率與產能。或將量測之剛度繪制成動態頻譜圖給予有判斷經驗之設備商，期望樓板剛度能達到經驗值以上。若樓板剛度不足， 再提供結構補強之方案或施工。
• 生產設備振動問題共同開發研究與解決
  結合設備商之研發與設計部門，共同開發設備結構配置與斷面，將設備結構進行有限元素模擬與振動預測。若以開發完成之設備有振動問題，也可共同探討 其影響原因與振動模態，研擬出解決之建議方案與改善後振動量測。